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單頻紫外激光器 IXION-193 SLM是單頻二管泵浦全固態(tài)激光器。用于光學(xué)計量、高功率ArF準(zhǔn)分子激光器的帶寬控制和193nm波長的步進(jìn)校準(zhǔn)。光譜帶寬接近理論傅立葉變換限。中心波長以0.01nm的度從190nm到194nm范圍可選。系統(tǒng)可選內(nèi)置高精度光譜儀，度可達(dá)1pm以保證對激光器調(diào)諧的zui大控制。
單頻紫外激光器 IXION-193 SLM典型參數(shù)
| 型 號 | IXION-193 SLM |
| 波 長 | 193.368 nm |
| 平均功率 | >10 mW |
| 脈 寬 | < 10 ns |
| 脈沖能量 | >1.6 µJ |
| 重復(fù)頻率 | 6 kHz |
| M2 因子 | < 1.6 |
| 線 寬 | <120MHz;0.015pm; 0.004cm-1 |
| 調(diào)諧范圍 | >80GHz; 10pm;2.6cm-1 |
| 相干長度 | >1 m |
單頻紫外激光器 IXION-193 SLM特點(diǎn)
· 工業(yè)級的頻率轉(zhuǎn)換，密封封裝
· 插槽安裝激光二管泵浦
· 優(yōu)異的TEM00光束形貌
· 脈沖到脈沖之間波動小
· 免維護(hù)與熱電溫控管理
· LabVIEW驅(qū)動
· 內(nèi)置光譜儀用于波長實時控制
單頻紫外激光器 IXION-193 SLM應(yīng)用
· 193 nm波長計量
· 光譜儀校準(zhǔn)
· 干涉測量
· 準(zhǔn)分子激光器的種子注入
單頻紫外激光器 IXION-193 SLM
光譜帶寬
脈沖寬度
長時間功率穩(wěn)定性
光束質(zhì)量
